轴承是精密机械零件,对滚动体和轴承套圈的圆度、波纹度和表面粗糙度有很高的要求,生产过程必须满足亚微米级公差。为了验证生产质量,采用了最先进的接触测量技术,对如圆度和波纹度进行测量以及根据ISO 4287标准对表面粗糙度进行测量。为了测量圆度和波纹度,使用了特殊的测量仪,同时也可用来测量表面粗糙度。测量主要是在实验室环境中以随机抽样的方式检查零件。同时,为了满足日益增长的轴承质量要求,必须增大样本尺寸,但这增加了质量检查所需的时间。散射光光学测量技术有助于解决这些矛盾的要求。这项技术基于光从表面的反射,可在一次操作中测量圆度、波纹度和表面粗糙度。提供洁净的环境,就可使用散射光进行自动测量,并将其集成于如超精和磨削等生产过程中。此外,周期时间远比接触测量短。散射光测量的结果可校准。通过校准圆度和波纹度可达到国际标准。Aq是从表面粗糙度的光学结果得来的新参数,虽然其与已知的Ra和Rz值无关,但与偶尔使用的Rdq值有关。